PelatihYang disebut cacat titik adalah penyimpangan dari kristal sempurna yang terlokalisasi pada satu situs: kekosongan, atom interstisial, atau atom asing. Dalam kristal ionik, yang disebut cacat Schottky adalah sepasang kekosongan, satu kation dan satu anion, yang ion-ionnya telah pindah ke permukaan; sedangkan cacat Frenkel adalah pasangan yang terdiri atas sebuah kekosongan dan ion yang meninggalkannya, yang kini menempati situs interstisial.
