المعيار الداخلي مركب، غائب عن العينة، يُضاف بكمية معلومة إلى كل محلول يُحلَّل؛ ويجب أن يكون مفصولًا عن كل القمم الأخرى وأن يسلك سلوك المادة المحللة. ومعامل الاستجابة للمادة المحللة بالنسبة إلى المعيار الداخلي يُعرَّف بالعلاقة
حيث مساحات القمم و التراكيز في المحلول المحقون.