Een interne standaard is een verbinding die afwezig is in het monster en die in een bekende hoeveelheid aan elke geanalyseerde oplossing toegevoegd wordt; ze moet gescheiden zijn van alle andere pieken en zich gedragen zoals de analyt. De responsfactor van een analyt ten opzichte van de interne standaard wordt gedefinieerd door
waarin piekoppervlakten zijn en concentraties in de geïnjecteerde oplossing.