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Chimie · Glossaire

Qu'est-ce que « Dépôt chimique en phase vapeur » ?

Définition 23.5 Chimie universitaire — 3e année · Chapitre 23 — Matériaux inorganiques et nanomatériaux

Le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) fait croître un film solide sur une surface chauffée par la réaction de précurseurs gazeux à son contact, comme le silicium à partir du silane, SiHX4→Si+2 HX2\ce{SiH4 -> Si + 2H2}, ou le diamant à partir de méthane et de dihydrogène.

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