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Química · Glossário

O que é Deposição química em fase vapor?

Definição 23.5 Química universitária — 3.º ano · Capítulo 23 — Materiais inorgânicos e nanomateriais

A deposição química em fase vapor (CVD) faz crescer um filme sólido sobre uma superfície aquecida pela reação ali de precursores gasosos, como o silício a partir do silano, SiHX4→Si+2 HX2\ce{SiH4 -> Si + 2H2}, ou o diamante a partir de metano e hidrogênio.

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