Chemische dampdepositie (CVD) laat een vaste film groeien op een verhit oppervlak door de reactie van gasvormige precursoren daar, zoals silicium uit silaan, , of diamant uit methaan en waterstof.
Scheikunde · Begrippenlijst
Scheikunde · Begrippenlijst
Chemische dampdepositie (CVD) laat een vaste film groeien op een verhit oppervlak door de reactie van gasvormige precursoren daar, zoals silicium uit silaan, , of diamant uit methaan en waterstof.